氣態(tài)分子污染物(AMC)控制技術(shù)
來源 : 世源科技工程有限公司
高效化學(xué)過濾器
隨著平板顯示技術(shù)的發(fā)展,低溫多晶硅(LTPS)TFT-LCD和AM-OLED產(chǎn)品逐漸增加,以往在a-Si TFT-LCD生產(chǎn)中不會(huì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生影響的化學(xué)氣體在LTPS-TFT生產(chǎn)中大大降低了產(chǎn)品的成品率?;瘜W(xué)過濾器的使用可以去除環(huán)境空氣中80%以上的化學(xué)氣體,提高產(chǎn)品的成品率。世源公司為多家生產(chǎn)企業(yè)提供了咨詢、檢測(cè)和安裝了化學(xué)過濾器。